某半导体材料电源芯片打造厂在晶圆手工加工阶段中，安全使用硅烷使用硅概念萌发，尾气排放洗衣塔有高溶度含硅废液。废液具pH变化大（2-11）、硅含锌量高的特质，民俗整理做法易突然出现硅垢闭塞相关问题。 废水处理方法组分及收入 废液具体基本成分为： 溶水性硅酸盐 ：SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢阳极氧化钠 ：洗條塔耐酸碱洗條液残余物 顆粒硅 ：纳米级级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：材质其它杂物进入 外理工艺技术程序流程 科技创新通过"多级结合+膜活性炭过滤+化掉析出"流程： 一級中合 ：用CaO缓解pH至4-5，转换成硅酸钙发展，硅祛除率60%。 中级与 ：加Na₂CO₃将pH完善至9，进一次滤渣所剩硅，并接用镁剂除砷。 反渗透装置系统 ：0.02μm瓷质膜过滤水微米级硅科粒，通量安全稳定在80LMH。 MVR多效冷却器 ：浓缩提炼高盐废渣，沉淀出Na₂SO₄副服务，水中水回用率超90%。 后面体验 总硅从1500mg/L降低5mg/L以下的 砷成分从0.8mg/L下降0.01mg/L 装置无结渣程序运行高于2年 第年回收利用磷酸钠多晶体约800吨